特許

J-GLOBAL ID：200903013416131490

力学量検出装置及びその製造方法

発明者： 千田 英美
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-069750
公開番号（公開出願番号）：特開2007-248152
出願日： 2006年03月14日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】基板上に浮いた状態で設けられ電極部から延設される配線を取り出すために必然的に生じる分断領域を有する梁構造体の剛性を部分的に高めることができ、梁構造体の、検出とは関係しない部分の熱応力や慣性力による変形を防止して安定した出力を得ることができる力学量検出装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】基板2上に浮いた状態で設けられる梁構造体3の変位にともなう可動電極3a〜3f及び固定電極9a〜9f間の静電容量の変化に基づいて梁構造体3に作用する力学量を検出する力学量検出装置1において、梁構造体3に設けられ少なくとも一部が該梁構造体3の長尺部分により形成されて配線11〜13が配設される分断領域10に、梁構造体3を上方に迂回させるとともに前記長尺部分を補強するブリッジ構造(補強ブリッジ20)を架設した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に浮いた状態に設けられ前記基板に対して基板表面と平行な方向に変位可能に支持されるとともに可動電極を有する梁構造体と、前記基板上に固着され該基板と電気的に絶縁された状態で前記梁構造体と同じ層位置に支持されるとともに固定電極を有する配線と、を備え、 前記梁構造体の変位にともなう前記可動電極及び固定電極間の静電容量の変化に基づいて前記梁構造体に作用する力学量を検出する力学量検出装置であって、 前記梁構造体に設けられ少なくとも一部が該梁構造体の長尺部分により形成されて前記配線が配設される分断領域に、前記梁構造体を上方に迂回させるとともに前記長尺部分を補強するブリッジ構造を架設したことを特徴とする力学量検出装置。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z

Fターム (22件)：

2F105BB04 ,  2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3525862号公報
  
• 特許第3512004号公報