特許
J-GLOBAL ID：200903013416207160
収差測定装置並びに測定方法及び該装置を備える投影露光装置並びに該方法を用いるデバイス製造方法、露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999002608
公開番号（公開出願番号）：WO1999-060361
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 1999年11月25日
要約：
【要約】被検光学系PLを通過した光束を所定面IP上に集光させる集光レンズLと、光束の一部を通過させるための開口絞りAPと、所定面IP上における前記開口絞りを通過した光束の一部の集光位置Pの位置ずれを検出する集光位置検出部DETと、前記開口絞りを前記光束の光軸と交差する方向に移動させる移動部Mと、前記集光位置検出部DETからの出力信号に基づいて前記被検光学系PLの収差を算出する演算処理部PCとを有する。
請求項（抜粋）：
被検光学系を通過した光束を所定面上に集光させる集光レンズと、 前記光束の一部を通過させるための開口絞りと、 前記開口絞りを前記光束の光軸と交差する方向に移動させる移動部と、 前記所定面上における前記開口絞りを通過した光束の一部の集光位置の位置ずれを検出する集光位置検出部と、 前記集光位置検出部からの出力信号に基づいて前記被検光学系の収差を算出する演算処理部と、を有することを特徴とする収差測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/02 H
, H01L 21/30 525 S
