特許

J-GLOBAL ID：200903013417131400

2枚一体型研磨パッド

発明者： 渡邉 公浩 ,  数野 淳 ,  小川 一幸 ,  中森 雅彦 ,  下村 哲生 ,  山田 孝敏
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (3件)： 青山 葆 ,  山本 宗雄 ,  西下 正石
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-082643
公開番号（公開出願番号）：特開2005-262424
出願日： 2004年03月22日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】研磨パッドを縦置きに保管することを可能にする研磨パッド構造を提供する。【解決手段】順に第1の研磨パッド11、第1のクッション層12、第1の接着剤層13、離型基材14、第2の接着剤層15、第2のクッション層16および第2の研磨パッド17を設けた2枚の研磨パッドを一体にした2枚一体型研磨パッド1。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

順に第1の研磨パッド、第1の接着剤層、離型基材、第2の接着剤層、および第2の研磨パッドを設けた2枚の研磨パッドを一体にした2枚一体型研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B37/00 ,  H01L21/304

FI (2件)：

B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3,013,105号公報