特許

J-GLOBAL ID：200903013418252480

生産ラインの工程異常自動診断システム

発明者： 八木原 清
出願人/特許権者： 日鉄セミコンダクター株式会社
代理人 (1件)： 櫻井 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-017843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206200
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】〔目的〕生産ラインの製造工程の異常を自動的にしかも早期に診断可能な自動診断システムを提供する。〔構成〕生産ラインの各製造工程に対応して設けられている各検査工程から取り込んだ測定値に対する許容範囲を定める許容限界値を格納する工程異常診断データベース(1) と、前記各検査工程から取り込んだ測定値を時系列的に保存し、この保存した測定値が工程異常診断データベース(1) に格納中の各検査工程ごとの許容範囲内に存在するか否かを判定することにより対応の製造工程が正常であるか否かを診断する工程異常自動診断手段(13)とを備えている。

請求項（抜粋）：

生産ラインの各製造工程に対応して設けられている各検査工程から取り込んだ測定値に対する許容範囲を定める許容限界値を格納する工程異常診断データベースと、前記各検査工程から取り込んだ測定値を時経列的に保存し、この保存した測定値が前記工程異常診断データベースに格納中の前記各検査工程ごとの許容範囲内に存在するか否かを判定することにより対応の製造工程が正常であるか否かを診断する工程異常診断手段とを備えたことを特徴とする生産ラインの工程異常自動診断システム。

IPC (4件)：

G01D 21/00 ,  B23Q 41/08 ,  G05B 23/02 301 ,  G05B 23/02 302

FI (4件)：

G01D 21/00 Q ,  B23Q 41/08 Z ,  G05B 23/02 301 V ,  G05B 23/02 302 N