特許
J-GLOBAL ID：200903013419855065
石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180507
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345620
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 石英ガラスの例えば大型半導体プロセス用道具材のようなものを短時間で高純度で製造できる。【構成】 平均粒径1μm以上500μm以下の結晶質もしくは非晶質シリカに、“珪酸エステル、pH3以下に調整した水、および水に可溶な沸点120°C以上の有機溶媒からなる混合物”を総計で30〜100重量部を混合し、型中でゲル化させ、離型した後、1400〜1850°Cで加熱焼結することを特徴とする石英ガラスの製造方法。
請求項（抜粋）：
平均粒径1μm以上500μm以下の結晶質もしくは非晶質シリカに、珪酸エステル、pH3以下に調整した水、および水に可溶な沸点120°C以上の有機溶媒からなる第1混合物を混合して第2混合物を作り、その第2混合物を型中でゲル化させ、離型した後、加熱することを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (4件)：
C03B 8/02
, C03B 19/12
, C30B 15/10
, H01L 21/22
