特許
J-GLOBAL ID：200903013420965281
高密度導通検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237115
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065883
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 電気導通検査で、狭ピッチ配線の検査が可能な検査装置を提供する。【解決手段】 センサ部10は、基板(ガラス基板)11から構成され、基板11上には、その中央部にセンサ領域Sが配置され、その縁部にドライバ領域Dが配置される。センサ領域S上には、金属膜からなる複数の電極がマトリックス状に配置される。複数の電極のピッチは、プリント配線板30の配線パターンの最小ピッチよりも狭くなっている。ドライバ領域Dのドライバ回路により、複数の電極のうちからプリント配線板30の検査箇所Aに対応する電極aと検査箇所Bに対応する電極bを選択し、テスト電位WTVを電極aを経由して検査箇所Aに供給し、検査箇所Bの電位を電極bを経由して検出する。
請求項（抜粋）：
最小ピッチPminで配置された配線パターンの第1検査箇所と第2検査箇所の間の電気的導通を検査するときに使用され、基板と、金属膜から構成され、前記最小ピッチPminよりも狭いピッチで前記基板上にマトリックス状に配置される複数の電極と、前記基板上の薄膜に形成され、前記複数の電極のうちから前記第1検査箇所に対応する第1電極と前記第2検査箇所に対応する第2電極を選択し、テスト電位を前記第1電極を経由して前記第1検査箇所に供給し、前記第2検査箇所の電位を前記第2電極を経由して検出する回路とを具備することを特徴とするセンサ部。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC09
, 2G014AC10
