特許
J-GLOBAL ID：200903013421516308
電子ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211795
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058999
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 本発明は電子ビーム装置に関し、試料チップの電圧測定点設定登録作業を自動化して作業能率および作業精度を向上させることを目的とする。【構成】 試料チップのマスクパターンデータをパターン表示させて、作業者が表示中の配線にプローブ点を指定して登録し、このプローブ点に基づいて試料チップの電圧測定試験を行う電子ビーム装置において、指定されたプローブ点の近傍を配線の幅に応じて自動的に拡大して表示させると同時に指定されたプローブ点座標を表示させ、作業者の判断によって配線上の正確な位置にプローブ点を再指定できるようにする。
請求項（抜粋）：
CAD部(11)内に記憶された試料チップ(23)のマスクパターンデータをパターン表示するマスク図表示部(12)と、前記パターン表示中の一点をプローブ点として指定するプローブ点入力部(13)と、指定された前記プローブ点を登録する測定点登録部(14)と、前記測定点における電圧測定を自動制御で行う電子ビーム装置制御部(20)とを具備する電子ビーム装置において、前記マスク図表示部(12)によって前記マスクパターンデータが広域視野表示されているときに前記プローブ点入力部(13)で指定された前記プローブ点に対応する配線の幅を前記CAD部(11)のデータによって検知する配線幅検知手段(3)と、前記配線幅検知手段(3)に検知された配線の幅に対応して拡大表示倍率を自動的に設定し、これに基づく拡大表示データを生成する表示データ生成手段(1)とを具備し、前記拡大表示データに基づいて拡大視野表示されたパターン表示における前記プローブ点近傍の配線を前記プローブ点入力部(13)で再指定できる構成としたことを特徴とする電子ビーム装置。
IPC (2件)：
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