特許
J-GLOBAL ID：200903013429060818
反応性イオンエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238507
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094470
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】本発明は、真空容器壁に付着した反応生成物の再放出量を減少させる反応性イオンエッチング方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、反応性ガスを低ガス圧で励起してプラズマを生成し、パターン形成を行う反応性イオンエッチング方法において、上記反応性ガスとして塩素ガスに四フッ化炭素ガスと酸素ガスを添加した混合ガスを用いることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
反応性ガスを低ガス圧で励起してプラズマを生成し、パターン形成を行う反応性イオンエッチング方法において、上記反応性ガスとして塩素ガスに四フッ化炭素ガスと酸素ガスを添加した混合ガスを用いることを特徴とする反応性イオンエッチング方法。
引用特許：
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