特許
J-GLOBAL ID：200903013431497573
X-Y方式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動によるプロービング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳沢 大作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351939
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178771
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 ピンプローブが測定点に接触する直前までの速度を上げても、被検査基板が損傷を受け難く、安定した計測を行なえるようにする。【解決手段】 コンタクトプローブの下降時に、ピンプローブの先端が測定点の近傍にある予定した位置に達するまで、コンタクトプローブを加減速し、予定位置を超えたらコンタクトプローブを一定速度にし、その速度をピンプローブの先端部が支持管内に一定量後退して入るまで継続し、その後退量が一定量を超えた後予定した最終の後退量に達するまで、コンタクトプローブを加減速する。
請求項（抜粋）：
X-Y方式インサーキットテスタのZ軸ユニットに、モータとそのモータ軸から駆動力を受けるタイミングベルトとそのタイミングベルトから駆動力を受けるコンタクトプローブとを設置し、そのコンタクトプローブに圧縮コイルばねから付勢力を受けて先端部が支持管から突出するピンプローブを備え、そのモータ軸の回動を制御することにより、タイミングベルトを介してコンタクトプローブの位置と動きを制御するX-Y方式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動によるプロービング方法において、上記コンタクトプローブを上昇端まで上げた後に下降させ、そのコンタクトプローブの下降時にピンプローブの先端が測定点の近傍にある予定した位置に達するまで、そのほぼ前半距離下降する間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コンタクトプローブを減速し、そのピンプローブの先端が予定位置を超えたらコンタクトプローブをほぼ一定速度にし、ピンプローブの先端が測定点に接触した後ピンプローブの先端部が支持管内に一定量後退して入るまでその一定速度を継続し、そのピンプローブの後退量が一定量を超えた後予定した最終の後退量に達するまで、そのほぼ前半距離下降する間コンタクトプローブを加速し、後半距離下降する間コンタクトプローブを減速することを特徴とするX-Y方式インサーキットテスタのタイミングベルト駆動によるプロービング方法。
IPC (3件)：
G01R 1/06
, G01R 31/02
, G01R 31/28
G01R 1/06 E
, G01R 31/02
, G01R 31/28 K
