片持ちバルブ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000028
公開番号（公開出願番号）：特開平11-270728
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】ミリ秒の応答時間を有する、流体制御の二次元バルブを提供する。【解決手段】二次元アレイの各バルブは、受動マトリクスアドレス指定により制御される。各バルブ90はバルブハウジング92が含まれ、これは、開口96を規定する開口板98と、開口板98と間隔が空けられ配置される対向ポート板100を持つ。可撓性薄膜102の端部が開口板98とポート板100の間に取り付けられ、他の端部は取り付けられず開口板98とポート板100の間を自由に動く。スイッチ電極106をポート板100の近くに配置し、スイッチ電極106を使用することで可撓性薄膜102を開口閉鎖位置と開口開放位置の間で動かし、バルブを作動する。

請求項（抜粋）：

流体の動きを制御する片持ちバルブにおいて、開口板と、前記開口板に対向し間隔が空けられ配置されるポート板とを有し、前記開口板は開口を規定すると共に内面を有し、前記ポート板はポートを規定すると共に内面を有するバルブハウジングと、導電性部分を有しその第1の端部が前記開口板と前記ポート板の間に取り付けられ、第2の端部が自由に動く可撓性薄膜と、前記ポート板内面に近接して配置され、前記可撓性薄膜を前記ポート板と前記開口板との間で垂直に駆動することで前記可撓性薄膜を開口閉鎖位置と開口開放位置の間で動かすスイッチ電極と、前記スイッチ電極と前記可撓性薄膜の導電性部分の間に配置される誘電体層と、を備えることを特徴とする片持ちバルブ。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-261777
特開昭62-261778
特表昭63-501586

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