特許

J-GLOBAL ID：200903013438206442

砥石の製造方法及び該方法により得られた砥石

発明者： 平林 敬二 ,  高下 順治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027985
公開番号（公開出願番号）：特開平6-238563
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】 基材上にダイヤモンド砥粒を密着力良く固着させ、かつ耐久性の高い、ダイヤモンド砥粒固定法を提供すること。【構成】 基材表面に気相合成法によりダイヤモンドを形成し、これを砥粒として用いる砥石の製造方法であって、前記ダイヤモンド砥粒の間及び前記ダイヤモンド砥粒と前記基材との間に樹脂又はゴムの弾性体を充填して、前記ダイヤモンド砥粒を前記基材上に保持する工程を有することを特徴とする砥石の製造方法。【効果】 砥粒と基材との密着力に優れ、耐久性よく研削を行うことができる砥石を提供できる。

請求項（抜粋）：

基材表面に気相合成法によりダイヤモンドを形成し、これを砥粒として用いる砥石の製造方法であって、前記ダイヤモンド砥粒の間及び前記ダイヤモンド砥粒と前記基材との間に樹脂又はゴムの弾性体を充填して、前記ダイヤモンド砥粒を前記基材上に保持する工程を有することを特徴とする砥石の製造方法。

IPC (5件)：

B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/22 ,  H01L 21/304 321