洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005038
公開番号（公開出願番号）：特開平10-192797
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】ハイドロフルオロカーボンまたはハイドロフルオロエーテル(HFC/E)に難溶性の有機溶剤を用いた場合でも、金属部品等への油やフラックス等の汚れに対し、クロロフルオロカーボンと同様、不燃性、低毒性で優れた洗浄効果が得られる新規なHFC/E 系溶剤を用いた洗浄方法の提供。【解決手段】洗浄槽2、シャワー洗浄装置3、すすぎ槽4を有する洗浄装置1(図1)を用い、沸点30〜150 °CのHFC/E 液体と、該液体に難溶性で、沸点が該HFC/E の沸点より50°C以上高い有機化合物、例えば炭化水素液体を洗浄槽に2層分離させて充填し、被洗浄物を主として有機化合物液体を含む上層液体により洗浄した後、これを主としてHFC/E 液体を含む下層液体によりシャワー洗浄して、被洗浄物表面に付着した上層の液体を洗い流し、次いでHFC/E 液体ですすぎ、更にこれをHFC/E 液体の飽和蒸気により蒸気洗浄することからなる洗浄方法。

請求項（抜粋）：

洗浄槽、すすぎ槽、シャワー洗浄装置及び蒸気供給部を有する洗浄装置を用い、沸点が30〜150°Cのハイドロフルオロカーボン(HFC)またはハイドロフルオロエーテル(HFE)、もしくはそれらの混合物液体と、該液体に難溶性であり、且つ沸点が該液体の沸点より50°C以上高い有機化合物液体を洗浄槽に充填し、主として有機化合物液体を含む上層と、主としてHFCまたはHFE液体を含む下層とに2層分離せしめ、被洗浄物を洗浄槽の上層に浸漬して有機化合物液体により洗浄した後、洗浄槽の上部空間に取り出し、これを下層の液体によりシャワー洗浄して、被洗浄物表面に付着した上層の液体を洗い流し、次いでHFCまたはHFE液体が充填されたすすぎ槽内で、被洗浄物をすすぎ洗いし、更にこれを、HFCまたはHFE液体の飽和蒸気により蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (7件)：

B08B 3/08 , C07C 19/08 , C11D 7/30 , C11D 7/50 , C23G 5/028 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304 351

FI (7件)：

B08B 3/08 A , C07C 19/08 , C11D 7/30 , C11D 7/50 , C23G 5/028 , H01L 21/304 341 V , H01L 21/304 351 V

引用特許：

審査官引用 (4件)

特表平6-510821
物品表面清浄法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-044354 出願人：三井・デュポンフロロケミカル株式会社
特開平4-227695

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