特許

J-GLOBAL ID：200903013445135763

走査型顕微鏡

発明者： 木村 俊仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-204192
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045588
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 照明光を試料に照射する光学系を移動台に搭載し、レーザ光源から発せられた照明光としてのレーザビームを光ファイバーを介して上記光学系に送り、移動台を試料台に対して相対移動させることにより照明光の走査を行なう走査型顕微鏡において、レーザ光の可干渉性による撮像画像の濃度ムラ発生を防止する。【構成】 光ファイバー14を保持具50を介して振動子52により高速振動させて、該光ファイバー14を伝搬する照明光11をサンプリングクロックCLKよりも高い周波数で変調させるとともに、画像信号S1、S2をローパスフィルタ46、47に通して、上記変調による高周波成分を除去する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から発せられた照明光を試料上に照射する送光光学系、および試料からの光を結像させる受光光学系を移動台に搭載し、前記光源を移動台外に配して、そこから発せられた照明光を光ファイバーにより前記送光光学系へ導くようにし、前記移動台を、試料が載置される試料台に対して相対的に移動させることにより、前記照明光を試料上において走査させ、前記結像した光を検出する光検出器の出力を、所定のサンプリングクロックに基づいてサンプリングして、試料の拡大像を担う画像信号を得る走査型顕微鏡において、前記照明光を、前記サンプリングクロックの周波数よりも高い周波数で変調する手段と、前記画像信号から、前記変調による高周波成分を除去するフィルターとが設けられたことを特徴とする走査型顕微鏡。