特許

J-GLOBAL ID：200903013449982738

インプリントリソグラフィにおけるテンプレート用モートシステム

発明者： マックマッキン,イアン・エム ,  ラド,パンカジ・ビイ
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-525691
公開番号（公開出願番号）：特表2008-509825
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

本発明は凹部により隔てられる第1のエリアと第2のエリアを有するボディに関する。上記凹部は、上記ボディの表面沿いに移動する液体が、上記第1のエリアと第2のエリアとの間で移動するのを防がないにしても、その量を少なくするような大きさを有する。上記第1のエリアと第2のエリアのどちらか一方の内側には1つ以上のアラインメントマークを設けることが可能である。このように、上記凹部は、ある量の液体がアラインメントマークに重なり合うのを防がないにしても、その量を少なくするモートとして作用する。

請求項（抜粋）：

第1のエリア、および該第1のエリアの外にある第2のエリアを有するボディと、 該第1のエリアと該第2のエリアとの間に配設されたモートであって、該モート自体に関連づけられ、モートに入り込む液体の量を最小限に抑えることができる幾何学的特性を備えた、前記モートと、 からなるテンプレート。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00

FI (4件)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

Fターム (14件)：

4F209AA44 ,  4F209AC05 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28