特許

J-GLOBAL ID：200903013452984679

ドライエッチングの終点検出方法および装置

発明者： 福田 誠一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-306885
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148474
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 所望のエッチング終了時点を自動的に設定し信頼性の高いエッチング処理を実行するとともにエッチング処理の自動化が可能なドライエッチングの終点検出方法を提供する。【構成】 プラズマの発光強度を観測する枚葉式ドライエッチング装置を用いた終点検出方法において、第1番目のエッチング処理の発光強度変化のデータと、リアルタイムの発光強度変化から画像出力装置に出力するまでの遅延時間とに基づいて第2番目以降のエッチング処理の終了設定時間Tsを演算し(ステップS1〜S5)、この終了設定時間Tsに基づいて第2番目以降のエッチング処理を終了またはエッチング条件を変更する(ステップS6〜S8)。

請求項（抜粋）：

プラズマの発光強度を観測する枚葉式ドライエッチング装置を用いた終点検出方法において、第1番目のエッチング処理の発光強度変化のデータと、リアルタイムの発光強度変化から画像出力装置に出力するまでの遅延時間とに基づいて第2番目以降のエッチング処理の終了設定時間を演算し、この終了設定時間に基づいて第2番目以降のエッチング処理を終了またはエッチング条件を変更することを特徴とするドライエッチングの終点検出方法。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G01N 21/73 ,  G01N 21/78