特許
J-GLOBAL ID:200903013454770994
液晶装置、液晶装置の製造方法並びに電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-307631
公開番号(公開出願番号):特開2008-122758
出願日: 2006年11月14日
公開日(公表日): 2008年05月29日
要約:
【課題】複数のコンタクトホールを積層した積層コンタクトホール構造において、コンタクトホールの境界部での導電層の段切れを防止し、信頼性に優れた液晶装置を提供する。【解決手段】本発明の液晶装置100は、第1導電層35d上に設けられた複数の層間絶縁膜12,15と、前記複数の層間絶縁膜12,15にそれぞれ連通して設けられた複数のコンタクトホール45,47bと、前記複数のコンタクトホール45,47bの内壁面を覆って前記第1導電層35dと電気的に接続された第2導電層(ドレイン電極32及び画素電極9)と、を備え、前記複数のコンタクトホール45,47bは、上層側に設けられたコンタクトホール47bが下層側に設けられたコンタクトホール45よりも大きく形成されている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
第1導電層上に設けられた複数の層間絶縁膜と、
前記複数の層間絶縁膜にそれぞれ連通して設けられた複数のコンタクトホールと、
前記複数のコンタクトホールの内壁面を覆って前記第1導電層と電気的に接続された第2導電層と、を備え、
前記複数のコンタクトホールは、上層側に設けられたコンタクトホールが下層側に設けられたコンタクトホールよりも大きく形成されていることを特徴とする液晶装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (13件):
2H092GA13
, 2H092GA17
, 2H092GA29
, 2H092JA24
, 2H092JA46
, 2H092JB05
, 2H092JB16
, 2H092JB57
, 2H092JB58
, 2H092JB66
, 2H092MA13
, 2H092MA17
, 2H092NA15
引用特許:
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