特許
J-GLOBAL ID：200903013464691901
レジスト除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-238276
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083088
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 基板上に粘着テープを貼付けて剥離することで基板表面の不要レジストを粘着テープとともに除去する装置において、粘着剤が基板の外周縁に回り込んだ状態で粘着テープを剥離することに起因した基板の破損を防止する。【解決手段】 基板Wの外周縁に近接するとともに基板表面と面一状の表面を有する位置決めテーブル40を基板Wの周囲に配置し、基板Wとテーブル40とに亘って粘着テープを貼付けることで、粘着テープが基板Wとテーブル40との間隙cに落ち込むのを抑制し、粘着剤が基板外周縁に回り込むのを抑制する。この際、基板Wへの貼付け開始付近と貼付け終了付近でのみ粘着テープ貼付け移動速度を速くしたり、粘着テープ貼付け圧力を小さくすると、粘着剤が基板Wとテーブル40との間隙cに入り込んで基板外周縁に回り込むのを一層抑制できる。
請求項（抜粋）：
レジストパターンが存在する基板上に粘着テープを貼付け、前記粘着テープを剥離することで前記基板表面のレジストを除去する装置において、基板の外周縁に近接するとともに基板表面と面一状の表面を有する位置決めテーブルを基板の周囲に配置してあることを特徴とするレジスト除去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/42
, H01L 21/30 572 Z
