電位分布測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-282746
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119093
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】本発明は、微小な形状における表面電位分布を高分解能で測定しようとするものである。【構成】カンチレバー(14)を走査手段(12,21) により試料(13)に対して走査し、このときにカンチレバー(14)と試料(13)との間の原子間力によるカンチレバー(14)の微小変位を変位測定手段(16,18,19)により測定し、かつこの微小変位に応じてカンチレバー(14)と試料(13)との間隔を間隔制御手段(20)により一定に制御する。この状態にカンチレバー(14)と試料(13)との間を移動する電荷に応じた電位を電位分布手段(22,24)により測定し、この電位から試料(13)の表面の電位分布が求められる。

請求項（抜粋）：

試料の上方に配置される先端に探針が設けられたカンチレバーと、このカンチレバーを前記試料に対して走査する走査手段と、前記カンチレバーと前記試料との間の原子間力による前記カンチレバーの微小変位を測定する変位測定手段と、この変位測定手段により測定された微小変位に応じて前記カンチレバーと前記試料との間隔を一定に制御する間隔制御手段と、前記カンチレバーと前記試料との間を移動する電荷に応じた電位を測定して前記試料表面の電位分布を求める電位分布手段とを具備したことを特徴とする電位分布測定装置。

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