搬送型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233889
公開番号（公開出願番号）：特開平10-078664
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】照射光の平行性が高く、且つ光源から発散する光を有効に利用することで、エネルギ-利用効率が高い搬送型露光装置を提供する。【解決手段】円筒型光源(10)と搬送部(70)との間に、前記円筒型光源(10)とスリットの長手方向が平行であり直射照射光(60)を制御する第1スリット(40)と第2スリット(50)と、円筒型光源(10)の両側方に反射鏡(20)、(30)と、この反射鏡によって反射され搬送部(70)に向かう反射照射光(62)、(64)を制御する第1スリット(40)と第2スリット(50)と、露光されるワークを搬送する搬送部(70)とから構成された搬送型露光装置である。

請求項（抜粋）：

円筒型光源(10)と搬送部(70)との間に、前記円筒型光源(10)とスリットの長手方向が平行であり直射照射光(60)を制御する第1スリット(40)と第2スリット(50)と、前記円筒型光源(10)の両側方に反射鏡(20)、(30)と、この反射鏡によって反射され前記搬送部(70)に向かう反射照射光(62)、(64)を制御する第1スリット(40)と第2スリット(50)と、露光されるワークを搬送する搬送部(70)と、から構成されていることを特徴とする搬送型露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 511 , G03B 27/50 , G03B 27/70

FI (3件)：

G03F 7/20 511 , G03B 27/50 A , G03B 27/70

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