特許
J-GLOBAL ID：200903013475676343
流体ロック式定量インジェクタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-515655
公開番号（公開出願番号）：特表平9-511327
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】自動ミクロバルブアセンブリが流体を注入先流れに注入する。注入される流体は、バルブ(18)を通してチャンバ(11)内に導入される。注入される流体は、バルブ(13,14,17,18)によってチャンバ(11)内に保持される。注入される流体を加圧し、バルブ(17)を開放することにより、一定量の流体が注入される。注入される流体の加圧は、T-バルブ(14)を開放し、注入される流体より高い圧力のパージガスを導入することによって行われる。パージガスが注入バルブ(17)に向かって流れることによって、注入される一定量の流体を画定する流体ロックが形成される。これにより、点(22)と点(23)との間に存在する流体が注入先流れ(26)に注入されることになる。
請求項（抜粋）：
一定量の第1流体を注入するためのインジェクタアセンブリであって、 内部に第1流体を含むチャンバであって、その一端に前記チャンバと第1流体源とを結合する第1バルブを有し、前記チャンバの一部分である定量部分が前記一定量を画定する、該チャンバと、 前記第1流体を前記チャンバに導入し、そこに捕捉するための手段と、 前記チャンバの前記定量部分の一端に接続された第2バルブであって、第2流体を第2流体源から前記定量部分に流し、前記定量部分にある前記第1流体を注入先通路に押し流す、該第2バルブと、 前記定量部分の別の一端において前記チャンバに接続された第3バルブであって、前記定量部分を前記注入先通路に連通せしめる、該第3バルブとを有することを特徴とするインジェクタアセンブリ。
IPC (4件)：
G01N 1/00 101
, G01N 1/00
, G01N 30/20
, H01L 21/306
G01N 1/00 101 H
, G01N 1/00 101 M
, G01N 30/20 J
, G01N 30/20 N
, H01L 21/306 J
