セラミックヒータの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014527
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213460
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】室温から1500°Cの高温までセラミックヒータで使用されるに充分な機械的特性を有し、且つ絶縁磁器と発熱抵抗体との反応がなく、長期にわたり抵抗特性に優れたセラミックヒータを提供する。【解決手段】絶縁磁器2と発熱抵抗体3を具備するセラミックヒータを製造するにあたり、窒化珪素を主体とする絶縁磁器成形体の内部に、WC、Mo2 C、TaNの少なくとも1種以上を主成分とするペーストが発熱抵抗体パターンに配設されたヒータ成形体を作製した後、このヒータ成形体を1600〜1800°Cの1.5〜9気圧の窒素雰囲気中で焼成し、さらに1700〜1900°Cの第1の焼成工程よりも高圧窒素中で焼成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化珪素と焼結助剤とからなる絶縁磁器成形体の内部に、WC、Mo2 C、TaNの少なくとも1種以上を主成分とするペーストが発熱抵抗体パターンに配設されたヒータ成形体を作製する工程と、該ヒータ成形体を1600〜1800°Cの1.5〜9気圧の窒素雰囲気中で焼成する第1の焼成工程と、1700〜1900°Cの前記第1の焼成工程よりも高圧窒素中で焼成する第2の工程とを具備することを特徴とするセラミックヒータの製造方法。

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