特許
J-GLOBAL ID：200903013483788584
エネルギー分散型X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334982
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 保護容器内部を常に高真空状態に維持できるエネルギー分散型X線分析装置を提供する事。【構成】 加熱電源11よりヒータ9に加熱電流を供給してヒータ9を加熱すると、ヒータ9に近接して配置されている化学反応材8は、ヒータ9の熱を受けて蒸発する。蒸発したマグネシウム(Mg)の粒子は保護容器1の内壁に吸着し、容器1の内壁にはマグネシウム(Mg)の蒸着膜が形成される。その結果、容器内に発生した水蒸気やガスはこの蒸着膜に吸着される。この蒸着膜に吸着されたガスは、物理吸着によっても行なわれるが、大半は化学反応により強固に吸着されるため、保護容器内部の温度が上昇してもさほど再放出されない。また、この様な蒸着膜の容器内壁への形成を随時行なう事により、蒸着膜の吸着能力は維持できる。
請求項（抜粋）：
冷媒または低温発生部を収容する冷却槽と、試料から放出される特性X線を検出するX線検出器と、前記冷却槽と前記X線検出器を接続する熱伝導棒と、前記冷却槽とX線検出器と熱伝導棒とを真空封入する保護容器とを備えたエネルギー分散型X線分析装置において、前記保護容器の内壁に化学反応材の蒸着膜を形成するための手段を備えたエネルギー分散型X線分析装置。
IPC (5件)：
H01J 37/252
, G01N 23/20
, G01T 1/24
, H01J 37/18
, H01J 37/244
