特許

J-GLOBAL ID：200903013495547272

光学測定装置

発明者： エイチ・イー・ウオルデンマイアー ,  ピー・ジエイ・デグルート ,  ジー・エイチ・ヘイズ
出願人/特許権者： ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068697
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087524
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】本発明は、大きなダイナミックレンジを保持しながら測定値の正確さを改善できる光学測定装置を提供することを目的とする。【構成】本発明の光学測定装置は、3つの別々の光波長からなる出力ビームを有する光源手段10と、その出力に結合され互いに決まった偏光関係を有する参照ビームと測定ビームとに出力ビームを分離し測定ビームを第1の関心表面及び第2の関心表面に向ける偏向手段を含んでなる分離手段18と、参照ビームと各関心表面から反射する測定ビームの一部とを一つの結合ビームに結合するための結合手段17と、結合ビーム内の3つの波長の各々の偏光状態に応答して、前記関心表面間の変位の関数または前記関心表面間の媒体の屈折率の変化の関数である、参照ビームの光路長と測定ビームの光路長との光路差を検出する検出手段22,24,26,28とを具備してなる。

請求項（抜粋）：

少なくとも3つの別々の光波長からなる出力ビームを有する光源手段と、前記光源手段の出力に結合され、互いに決まった偏光関係を有する参照ビームと測定ビームとに前記出力ビームを分離し、前記測定ビームを第1の関心表面及び第2の関心表面に向ける偏向手段を含んでなる分離手段と、参照ビームと各関心表面から反射する測定ビームの一部とを一つの結合ビームに結合するための結合手段と、前記結合ビーム内の3つの波長の各々の偏光状態に応答して、前記関心表面間の変位の関数または前記関心表面間の媒体の屈折率の変化の関数である、参照ビームの光路長と測定ビームの光路長との光路差を検出する検出手段と、を具備してなる光学測定装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-215803
  
• 特表昭63-500744
  
• 特開昭62-229004