特許
J-GLOBAL ID：200903013501713848
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308824
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144382
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】構造が簡単であり、しかも水による磁石の腐食の問題を避けることができるイオン源を提供する。【構成】カスプ磁場に閉じ込められたプラズマ中に設置された金属表面をガスイオンによりスパッタすることにより負イオンを発生させるイオン源であって、プラズマ容器1とカスプ磁場を形成するための永久磁石2の間に断熱材23を設け、プラズマ容器1の外面に冷却水を通過させる銅管26を設けた構造を有する。
請求項（抜粋）：
カスプ磁場に閉じ込められたプラズマ中に設置された金属表面をガスイオンによりスパッタすることにより負イオンを発生させるイオン源において、内筒21から永久磁石2への伝熱を抑止するための断熱材23をプラズマ容器1と永久磁石2の間に設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
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