特許

J-GLOBAL ID：200903013505123506

基板の識別情報を読み取り可能な基板収納容器及び基板の識別情報の読み取り方法

発明者： 古川 幹雄
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315038
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124561
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 基板の個別管理が可能であり、基板収納容器の蓋体を開けずに、基板の表面に形成された識別情報を精度良く読み取る事が可能な基板収納容器及び基板の識別情報の読み取り方法を提供すること。【解決手段】 開口部を有し基板を収納する容器本体11と、前記開口部をシール可能に閉鎖する蓋体12とを有する基板収納容器10であって、該基板収納容器10が基板1の位置決め機構21、15と、基板に形成された識別情報3の読み取り手段22と、外部との通信手段23とを有するものである。また、前記識別情報の読み取り方法が、基板収納容器の内部で基板を回転させながら、基板の位置検出と位置決めを行い、前記基板の識別情報を前記読み取り手段によって読み取り、基板加工装置の制御システムへ前記識別情報を送信するものである。

請求項（抜粋）：

開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、該基板収納容器が基板の位置決め機構と、基板に形成された識別情報の読み取り手段と、外部との通信手段とを有することを特徴とする基板の識別情報を読み取り可能な基板収納容器。

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  H01L 21/68 F

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031JA01 ,  5F031JA35 ,  5F031JA49 ,  5F031KA04