特許

J-GLOBAL ID：200903013507941974

基板搬送装置

発明者： 千本松 滋
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151818
公開番号（公開出願番号）：特開平7-014908
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 使用に伴い搬送ロボットに生ずる機械的誤差を加味して、基板の搬出入位置を修正する。【構成】 基板搬送装置において、搬送ロボットのサーボ制御による正規の基板搬出入位置に機械的誤差検出用の位置決めピン8を起立して設ける。また搬送ロボット1のアーム12A,12B先端には凹陥部11を設け、搬送ロボット1の機械的誤差に比例した位置で凹陥部11を位置決めピン8に係合させる。位置決めピン8に対する凹陥部11のずれ量に基づいて、搬送ロボット1を機械的誤差を検出し、搬出入位置の修正信号を出力し、その検出位置修正信号により基板の搬出入位置を修正する。

請求項（抜粋）：

誤差検出機構を有し、規定枚数の半導体基板を搬送ロボットに支持させ、該基板を搬送ロボットにより搬送して所定位置で停止させる基板搬送装置であって、搬送ロボットは、サーボ制御されるものであり、誤差検出機構は、搬送ロボットのサーボ制御による正規な基板の搬出入位置を初期値とし、該初期値に対する経年変化に基づく基板の搬出入位置のずれを検出し、搬出入位置の修正信号を出力するものであり、搬出入位置の修正信号は、使用に伴う搬送ロボットの機械的誤差を表わすものであることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/10 ,  B25J 19/00 ,  B65G 49/07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-120088
  
• カツプ式自動販売機のハンド制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-195155   出願人：株式会社クボタ
• 特開平4-152654
  
• 特開平4-300185