特許

J-GLOBAL ID：200903013512477321

干渉計装置

発明者： 安田 賢司 ,  米田 正美 ,  大井 重徳 ,  野口 憲一
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-207062
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003219
出願日： 1992年07月13日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 球面レンズにおけるニュートン本数を測定し、表面状態の検査を行うに当って、被検レンズのセットから測定を経て取り出すまでの操作を簡単に行うようにする。【構成】 開口21aを有する定盤21の下面側に昇降ガイド手段23を垂設し、これによって干渉計本体1を上下動可能に装着し、また定盤21の上面側に、開口21aの形成位置におけるほぼ定位置に被検レンズ8の被検面8a側の外周縁近傍にレンズマウント51を設け、下方からレーザビームを照射するようにし、球面レンズの被検面の表面仕上げ状態をニュートン本数を測定することにより行う。実際に被検レンズ8のニュートン本数の測定を行う際に、被検レンズ8をレンズマウント51の上にセットするだけで安定させることができ、また被検レンズ8をセットする毎に干渉計本体1とレンズマウント51との間の位置調整を行うことがないように構成している。

請求項（抜粋）：

導光用の開口を備えた定盤と、この定盤の下面側に垂設した昇降ガイド手段と、この昇降用ガイド手段に昇降可能に装着されて、基準レンズの基準面を前記開口側に向けて配設した干渉計本体と、前記定盤の上面側における開口形成位置に対応する定位置に設けられ、球面レンズからなる被検レンズの被検面側の外周縁近傍の部位を支承する状態にセットされるレンズマウント部とから構成したことを特徴とする干渉計装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 102

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-021806
  
• 特開平3-021806
  
• 特開平4-006402
  
• 特開平4-006402