特許
J-GLOBAL ID：200903013514214808
トラップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230249
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299364
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 被処理体の表面に吸着したガスの脱離を促進させ、効率よく真空装置内のガスを除去し、真空処理装置の高速真空化、スループットを向上させる。【構成】 真空処理室4内の水分等のガスを除去するためのラジェータ状のトラップ9に冷媒を循環させて冷却した後、このトラップ9を搬送手段によって真空処理室4内に入れる。一方、真空処理室4に被処理体Wを搬入し、赤外線ランプ14により被処理体Wに赤外線を照射して、表面に吸着されている水分等のガスを脱離させ、これらガスをトラップで捕捉する。このように複数枚の被処理体を脱ガス処理した後、トラップ9を真空処理室から搬出し、今度はトラップ9にエアを循環してトラップ9を加熱しトラップに付着しているガスを放出、除去する。
請求項（抜粋）：
真空処理室内の水分等のガスを除去するためのトラップ装置であって、前記ガスを捕集するトラップ手段と、前記トラップ手段を前記真空処理室内に搬出入するための移動手段と、前記トラップ手段を冷却する冷却手段と、前記トラップ手段を加熱する加熱手段とを備えたことを特徴とするトラップ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
