特許
J-GLOBAL ID:200903013516786043
アルカリ現像型感光性組成物及びそれを用いた硬化皮膜形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
▲吉▼田 繁喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-259180
公開番号(公開出願番号):特開2000-075482
出願日: 1998年08月31日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】 二段階露光によってタックフリー塗膜形成とパターン状硬化皮膜形成を行なえる無溶剤の感光性組成物及びそれを用いた硬化皮膜形成方法を提供する。【解決手段】 (A)1つのエチレン性不飽和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で液状の光重合性化合物、(B)下記一般式(1)で表わされる化合物、(C)上記化合物(B)を励起する最長吸収波長よりも長波長の活性エネルギー線に感応して光重合性化合物(A)のラジカル重合を開始させ得る光ラジカル重合開始剤又はそれと増感剤との混合物を含有する組成物を、基材上に塗布し、化合物(B)を励起する最長吸収波長よりも長波長の活性エネルギー線により全面露光し(一次露光)、次いで化合物(B)を励起する波長を含む活性エネルギー線を選択的に照射し(二次露光)、アルカリ水溶液により現像して二次露光工程の非露光部を除去することにより所定パターンの硬化皮膜を形成できる。【化1】
請求項(抜粋):
(A)1分子内に1つのエチレン性不飽和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で液状の光重合性化合物、(B)下記一般式(1)で表わされる化合物、及び(C)上記化合物(B)を励起する吸収波長の最長波長よりも長波長側の波長の活性エネルギー線に感応して上記光重合性化合物(A)のラジカル重合を開始させることができる光ラジカル重合開始剤又は増感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物を含有することを特徴とするアルカリ現像型感光性組成物。【化1】
IPC (4件):
G03F 7/029
, C08F 2/48
, G03F 7/027
, G03F 7/038 503
FI (4件):
G03F 7/029
, C08F 2/48
, G03F 7/027
, G03F 7/038 503
Fターム (47件):
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC12
, 2H025BC31
, 2H025BC33
, 2H025BC34
, 2H025BC81
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025BC92
, 2H025BC94
, 2H025CA00
, 2H025CA01
, 2H025CA28
, 2H025CC17
, 2H025FA05
, 2H025FA06
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H025FA30
, 4J011QA02
, 4J011QA03
, 4J011QA34
, 4J011QA35
, 4J011QA37
, 4J011RA03
, 4J011RA10
, 4J011RA11
, 4J011SA78
, 4J011SA90
, 4J011TA03
, 4J011TA06
, 4J011UA01
, 4J011UA02
, 4J011UA06
, 4J011UA08
, 4J011WA01
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