高純度耐消耗性介挿物の製造方法および材料

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-021453
公開番号（公開出願番号）：特開2003-267781
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】石英ガラス坩堝による黒鉛支持坩堝への攻撃的反応を防止することができる中間層ないしは中間坩堝の製造方法と、中間層ないしは中間坩堝に適する材料を提供する。【解決手段】高温半導体技術プロセスの要求条件を満たす上で適格であると同時に、その薄層又は構成部品を製造するために1群の材料を選択する。この材料を圧縮成形用型において高温で圧縮および精製する。そうして製造した製品をそれらの意図した用途に使用する。主に膨張黒鉛からなり、著しく薄肉かつ坩堝形状で、高純度の構成部品を、500°Cを超える温度の半導体技術プロセスにおいて、石英ガラス坩堝による攻撃的反応から黒鉛支持坩堝を保護するための耐消耗性介挿物として使用する。

請求項（抜粋）：

500°C超の温度を伴う半導体技術プロセスにおいて石英ガラス坩堝による酸化作用から黒鉛支持坩堝を保護するための、紡織炭素繊維製品等の炭素又は黒鉛添加物が添加又は無添加の高純度の交換可能な膨張黒鉛の耐消耗性介挿物の製造方法であって、-膨張黒鉛を、添加物を添加又は無添加にて、上型(4)と下型(3)の少なくとも2つの部分からなる適切な安定性の圧縮成形用型に導入し、-型を少なくとも10〜100MPaの圧力により閉じ、添加物を添加又は無添加の膨張黒鉛を、型締め中に圧縮・造形し、-添加物を添加又は無添加の圧縮・造形した膨張黒鉛構成部品を型から取出して耐熱性材料製の、造形表面と同じ幾何学形状を持つ型(5)、(6)に入れ、-例えば電気黒鉛又は炭素繊維強化炭素の耐熱性材料の型(5)、(6)を、添加物を含有又は非含有の圧縮・造形した膨張黒鉛構成部品と共に、ハロゲン又はハロゲン含有ガスを含有する雰囲気で2000°C超の温度にて精製し、-かくして製造した、圧縮・造形・精製し、その時点で脆い、添加物が添加又は無添加の膨張黒鉛構成部品を型から取出し、耐消耗性介挿物として意図した用途に使用することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

C04B 35/52 , C30B 15/10

FI (4件)：

C30B 15/10 , C04B 35/54 A , C04B 35/54 B , C04B 35/54 D

Fターム (18件)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD11 , 4G132AA03 , 4G132AA72 , 4G132AA76 , 4G132AB01 , 4G132BA02 , 4G132BA11 , 4G132BA17 , 4G132BA28 , 4G132CA14 , 4G132GA17 , 4G132GA24 , 4G132GA32 , 4G132GA45

引用特許：

出願人引用 (4件)

独国特許第4007053号明細書
国際公開第98/48085号パンフレット
特開平4-021509

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審査官引用 (2件)

特開平4-021509
膨張性グラフアイトからの成形品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-148958 出願人：バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト

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