特許

J-GLOBAL ID：200903013520827145

位置決め装置

発明者： 山崎 俊洋 ,  関口 浩之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296519
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124126
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 装置の稼働率を向上させる。【構成】 位置決め装置において、テスト的な目標位置指令信号および速度指令信号を生成するテスト信号生成手段と、速度制御系へ入力する速度指令信号を位置制御系からのものとテスト信号生成手段からのものとで切り換える手段と、位置制御系へ入力する目標位置指令信号を外部からのものとテスト信号生成手段からのものとで切り換える手段と、テスト信号生成手段からの目標位置指令信号および速度指令信号と前記現在位置信号とに基き速度制御系および位置制御系の特性を測定する手段とを具備する。あるいは、メモリに位置決め開始から位置決め動作終了までにおける所定時間毎の移動体の位置を記憶させる。あるいは、移動体を移動させるモータが発生する熱を含む対流がステージ位置を計測するレーザ干渉計の光路上に及ぶのを防止するカバーをモータの回りに具備する。

請求項（抜粋）：

摩擦接触部を介して案内される移動体と、速度指令信号と移動体の現在の速度とに基き移動体の速度を制御する速度制御系と、外部からの目標位置指令信号と移動体の現在位置の信号とに基き前記速度指令信号を速度制御系に与える位置制御系とを備えた位置決め装置において、テスト的な目標位置指令信号および速度指令信号を生成するテスト信号生成手段と、速度制御系へ入力する速度指令信号を位置制御系からのものとテスト信号生成手段からのものとで切り換える手段と、位置制御系へ入力する目標位置指令信号を外部からのものとテスト信号生成手段からのものとで切り換える手段と、テスト信号生成手段からの目標位置指令信号および速度指令信号と前記現在位置信号とに基き速度制御系および位置制御系の特性を測定する手段とを具備することを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

G05D 3/12 305 ,  G05B 13/02 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 311 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-282718
  
• 特開平1-104366
  
• 特開平4-109253