ホールプローブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-076193
公開番号（公開出願番号）：特開2006-258592
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】従来の磁場測定器に使用されるホールプローブでは、一般に磁気検出部分は不透明な状態であり、磁気測定結果を磁場分布パターンとして把握しようとする場合、ホールプローブの磁気検出部分がプローブのどの位置にあるかわかり難く、被測定物との相対的な位置を正確に把握できない。ホール素子チップの磁気検出部を形成する動作層がホールプローブのどこの位置にあるか外部より把握しやすい構造とすることが課題であった。【解決手段】ホール素子チップの基体を透明ガラスとすること、およびホール素子チップが搭載されるガラスエポキシ配線基板の穴中にホール素子チップが固着され、ガラスエポキシ配線基板との接続部分に使用される樹脂およびホール素子チップの上面を保護する樹脂を透明な樹脂とすることによって、ホール素子チップの磁気検出パターンを形成するInSb層が正確にどの位置にあるか外部より目視して確認が可能なホールプローブとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

磁場強度測定に用いられるホールプローブであって、ホール素子チップが動作層、電極部、および電気導通部を除いては透明であって、かつ前記ホール素子チップが固着する部分において、前記ホール素子チップの感磁面に垂直な方向に透明であることを特徴とするホールプローブ。

IPC (2件)：

G01R 33/07 , H01L 43/04

FI (2件)：

G01R33/06 H , H01L43/04

Fターム (3件)：

2G017AC06 , 2G017AC08 , 2G017AD52

引用特許：

出願人引用 (2件)

磁気検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-213984 出願人：株式会社トーキン
実開平7-42136号公報

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