特許
J-GLOBAL ID：200903013529315961

画像欠陥検査装置

発明者：
上山 真司

上山 真司 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  下道 晶久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-210932
公開番号（公開出願番号）：特開2008-041749
出願日： 2006年08月02日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】試料表面の撮像画像を区分した各領域に現れる試料表面の欠陥を、複数のプロセッサエレメントを用いて並列に検出し、これら並列に検出した欠陥の欠陥情報を所定の処理ユニットで一連の欠陥情報にまとめる画像欠陥検査装置において、各プロセッサエレメントから所定の処理ユニットへ送信される情報量を低減することによって、所定の処理ユニットで生じるボトルネックを解消する方法の提供。【解決手段】試料の表面の撮像画像に現れる欠陥を検出する欠陥検出処理S3と、この欠陥検出処理欠陥により検出された欠陥に関して撮像画像中の検出箇所を再検査する又は真偽を判定する再検査処理S6とが、同一のプロセッサエレメントによって実行されるように画像欠陥検査装置を構成する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
試料表面を撮像して得た撮像画像のうち本来同一となるべき対応部分同士を対比することにより前記試料表面の欠陥を検出する欠陥検出処理と、前記撮像画像において前記欠陥を検出した箇所を再検査する再検査処理と、を実行する画像欠陥検査装置であって、 前記撮像画像を区分した各領域に対する前記欠陥検出処理をそれぞれ平行して実行する複数のプロセッサエレメントと、 前記複数のプロセッサエレメントから、各プロセッサユニットが検出した欠陥の欠陥情報を平行して受信し一連の欠陥情報として出力する処理ユニットと、を備え、 各前記プロセッサエレメントは、自ら実行した前記欠陥検出処理で検出した前記欠陥を前記処理ユニットに送信する前に、当該欠陥についての前記再検査処理を行うことを特徴とする画像欠陥検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ,  H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G06T 1/00 ,  G06T 1/20
FI (5件)：
H01L21/66 J ,  H01L21/30 502V ,  G03F1/08 S ,  G06T1/00 305A ,  G06T1/20 B
Fターム (23件)：
2H095BD03 ,  2H095BD04 ,  2H095BD17 ,  2H095BD25 ,  2H095BD27 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ38 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32
引用特許：
出願人引用 (3件)

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