熱化学気相蒸着装置及びこれを用いたカーボンナノチューブの低温合成方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179984
公開番号（公開出願番号）：特開2001-032071
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】【課題】低温熱化学気相蒸着装置及びこれを用いたカーボンナノチューブの低温合成方法を提供する。【解決手段】熱化学気相蒸着装置は、ガス入口12及び排気口14を備え、ガス入口12側に隣接してガス入口12から供給されるガスを熱分解させるための第1領域と、排気口14側に隣接して第1領域で熱分解されたガスを使用してカーボンナノチューブを合成するための第2領域とを含む反応チューブ10と、反応チューブ10の外周に設けられ、第1領域を第1温度に保つための第1抵抗発熱体24と、反応チューブ10の外周に設けられ、第2領域を第1温度より低い第2温度に保つための第2抵抗発熱体26と、第1抵抗発熱体24と第2抵抗発熱体26との間に設けられてこれらを断熱させるための断熱材22とを具備する。第1領域より低温に保たれる第2領域で分解されたカーボンソースガスを用いて触媒微粒子上にカーボンナノチューブを合成する。

請求項（抜粋）：

ガス入口及び排気口を備え、前記ガス入口側に隣接して前記ガス入口から供給されるガスを熱分解させるための第1領域、ならびに前記排気口側に隣接して前記第1領域で熱分解されたガスを使用してカーボンナノチューブを合成するための第2領域を含む反応チューブと、前記反応チューブの外周に設けられ、前記第1領域を第1温度に保持するための第1抵抗発熱体と、前記反応チューブの外周に設けられ、前記第2領域を前記第1温度より低い第2温度に保持するための第2抵抗発熱体と、前記第1抵抗発熱体と前記第2抵抗発熱体との間に設けられてこれらを断熱させるための断熱材と、を備えることを特徴とする熱化学気相蒸着装置。

IPC (6件)：

C23C 16/26 , B01J 23/26 , B01J 23/44 , B01J 23/74 , B82B 3/00 , C01B 31/02 101

FI (6件)：

C23C 16/26 , B01J 23/26 M , B01J 23/44 M , B01J 23/74 M , B82B 3/00 , C01B 31/02 101 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-067672
特開昭60-067672

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