特許

J-GLOBAL ID：200903013538416100

鉄-ニッケル系合金部材およびガラス封止部品

発明者： 中島 均
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042771
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239801
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】30°Cから200°C〜400°Cまでの温度間における熱膨張係数が低融点ガラスとほぼ同等であり、かつRa、Sm、Sm/Raを規定することにより、新規の低融点ガラスの封止用鉄-ニッケル系合金部材を得る。【課題】 熱サイクルに伴うクラックが発生せず、また封止の信頼性の高い封止部材を提供する。【解決手段】 封止するガラスの30〜400°Cまでの熱膨張係数と±5%以内の熱膨張係数を有し、かつRaが0.20μm以下、Smが5〜100μm、Sm/Raが100以上である鉄-ニッケル系合金部材。

請求項（抜粋）：

ガラスからなる部材を封止する鉄-ニッケル系合金部材であって、前記ガラスの30°Cから30°Cを超え400°Cまでの任意の温度間における熱膨張係数が60×10-7/°C以上75×10-7/°C以下であり、前記鉄-ニッケル系合金部材の30°Cから200°Cないし400°Cまでの任意の温度間における熱膨張係数が前記ガラスの熱膨張係数と±5%以内であり、かつ前記鉄-ニッケル系合金部材のJIS B 0601-1994 に規定する算術平均粗さRaが0を超え0.20μm以下であり、また前記鉄-ニッケル系合金部材のJIS B0601-1994 に規定する凹凸の平均間隔Smが5μm以上100μm以下であって、さらにSm/Raが100以上であることを特徴とする鉄-ニッケル系合金部材。

IPC (5件)：

C22C 38/00 302 ,  C22C 38/08 ,  H01L 23/02 ,  H01L 31/02 ,  H01L 33/00

FI (5件)：

C22C 38/00 302 S ,  C22C 38/08 ,  H01L 23/02 F ,  H01L 33/00 N ,  H01L 31/02 B

Fターム (7件)：

5F041AA43 ,  5F041DA73 ,  5F041DA76 ,  5F088BA13 ,  5F088BA18 ,  5F088JA07 ,  5F088JA20