電子部品の吸着搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-013831
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214893
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】電子部品を吸着するようにした吸着ヘッドの軽量化を図る。【解決手段】水平方向に移動自在となった搭載ヘッドに設けられた吸着搬送器25は、吸着具26を有するピストンロッド34を上下方向に駆動する空気圧シリンダ31と、エジェクタが内部に組み込まれた真空発生ブロック32と、ピストン作動用の電磁弁39と、エジェクタ作動用の電磁弁54と、真空破壊用の電磁弁56とが一体となって形成され、軽量化されている。吸着具26の圧力を検出する圧力センサ60が吸着搬送器25に設けられており、この圧力センサ60からの信号は外部に設けられたセンサコントローラに送られる。これにより、吸着具26に電子部品が吸着されたい否かを吸着搬送器25の外部において検知することができ、吸着搬送器25に圧力スイッチを設けることが不要となるので、吸着搬送器25が軽量化される。

請求項（抜粋）：

複数の電子部品を収容する部品供給ステージと前記電子部品が搭載される被搭載部材を支持する搭載ステージとを有する搭載テーブルに沿って水平方向に移動自在となった搭載ヘッドを有する電子部品の吸着搬送装置であって、前記搭載ヘッドに取り付けられ、先端に前記電子部品を吸着する吸着具を有するピストンロッドを上下方向に駆動する四角柱形状の空気圧シリンダと、前記空気圧シリンダに固定され、ディフューザとこれに空気を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組み込まれた真空発生ブロックと、前記空気圧シリンダの上端部に取り付けられ、前記真空発生ブロックに形成された給気ポートに連通する給気路を開閉して前記ピストンロッドの上下動を制御するピストン作動用の電磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポートから前記ノズルに連通する給気路を開閉して前記エジェクタの作動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタにより発生した真空を前記吸着具に案内する真空路に連通された真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記真空路内に圧力を検出するセンサとを有する吸着搬送器を前記搬送ヘッドに複数個装着し、前記それぞれの吸着搬送器における前記給気ポートから供給された圧縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェクタの前記ノズルと前記真空破壊路とに共通に案内するようにしたことを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。

IPC (2件)：

H05K 13/02 , B23Q 7/04

FI (2件)：

H05K 13/02 D , B23Q 7/04 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

圧力検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-347118 出願人：エスエムシー株式会社

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