銅の洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275882
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117887
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】液管理が容易で低コストであり、かつ安定な品質を維持しうる銅の洗浄方法を提供する。【構成】銅の洗浄方法において、溶剤脱脂及びアルカリ脱脂により銅を脱脂し、次に酸と界面活性剤との混合液により銅の酸洗浄を行った後に炭酸ナトリウムによる銅の中和処理及び水洗を行い、更に800°C〜900°Cにて10時間真空処理を行う。

請求項（抜粋）：

次の各工程からなる銅の洗浄方法。(A) 溶剤脱脂及びアルカリ脱脂により銅を脱脂する第一工程。(B) 酸と界面活性剤との混合液により銅の酸洗浄を行う第二工程。(C) 中和剤により銅の中和処理を行った後に水洗を行う第三工程。

IPC (2件)：

C23G 5/02 , C23G 1/10

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