特許
J-GLOBAL ID：200903013545082926
内周刃砥石
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-147833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001462
出願日： 1995年06月14日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【目的】 良好な切れ味を長期間維持できる内周刃砥石を提供する。【構成】 薄肉の円環板状をなす台金10と、台金10の内周縁部の全周に亙って形成された電着砥粒層12とを具備する。電着砥粒層12は金属めっき相18中に超砥粒14,16を分散させたものであり、電着砥粒層12の少なくとも台金内周端面と対向する領域では超砥粒14,16が多層状に分散されている。多層状領域内では、台金の表面に沿って大径超砥粒14が単層状に配置されるとともに、それより上層には小径超砥粒16がランダムに配置されている。大径超砥粒14の平均粒径は、小径超砥粒16の平均粒径の1.1〜1.4倍である。
請求項（抜粋）：
薄肉の円環板状をなす台金と、この台金の内周縁部の全周に亙って形成された電着砥粒層とを具備し、前記電着砥粒層は金属めっき相中に超砥粒を分散させたものであり、前記電着砥粒層の少なくとも台金内周端面と対向する領域では前記超砥粒が多層状に分散され、この多層状領域内では、前記台金の近傍に大径超砥粒が配置されるとともに、これら大径超砥粒より上層には小径超砥粒が配置され、前記大径超砥粒の平均粒径は、前記小径超砥粒の平均粒径の1.1〜1.4倍であることを特徴とする内周刃砥石。
IPC (4件)：
B24D 5/12
, B24B 9/00
, B24D 3/06
, H01L 21/304 311
B24D 5/12 A
, B24B 9/00 L
, B24D 3/06 B
, H01L 21/304 311 S
