ペレットピックアップ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141354
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118862
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】粘着シート1に貼り付けられた薄く脆い半導体ペレット3でも、傷やカケを生じさせたり、割ってしまうことなく、粘着シートから取り外すことができるペレットピックアップ装置を提供する。【解決手段】粘着シート1に貼り付けられたペレット3をコレット4で吸着保持しながら、下方から、ステージに設けた吸引口で粘着シートを吸引し、そのままステージ8が水平面内を直進動作あるいは回転動作することで、粘着シート1をペレット3から剥がす。その後コレット4は、所定の位置まで、ペレット3を吸着・搬送する。従って、従来のようにニードルでペレット3を突き上げないので、ペレット3が薄く脆いものであっても、ペレット3に傷やカケを生じさせたり、割ってしまうことは一切ない。

請求項（抜粋）：

粘着シートに貼り付けられたペレットを、コレットで保持し取り外すペレットピックアップ装置において、粘着シートの直下に吸引孔が開けられたステージを配し、前記ペレットを前記コレットで保持した状態で、前記ステージは吸引孔で前記粘着シートを吸引しながら水平面上を移動した後、前記コレットは前記粘着シートから前記ペレットを取り外すことを特徴とするペレットピックアップ装置。

Fターム (5件)：

5F047FA01 , 5F047FA08 , 5F047FA72 , 5F047FA73 , 5F047FA83

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