特許
J-GLOBAL ID：200903013554426042
熱物理蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 篤 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-119794
公開番号（公開出願番号）：特開2003-317957
出願日： 2003年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】 OLEDの製造に特に適した熱物理蒸着装置を提供すること。【解決手段】 本発明による熱物理蒸着装置は、減圧下に保持されたチャンバ内に、OLEDの一部を形成する有機層を受容することとなる構造体から離して配置された細長い蒸気ディストリビュータを含む。該チャンバの外部に1又は2以上の取り外し可能な有機材料蒸気源が配置され、そしてバルブを含む蒸気輸送装置が各蒸気源を蒸気ディストリビュータに封止的に接続する。有機層の蒸着工程中、構造体を蒸気ディストリビュータに対して移動させることにより、構造体の上に均一性の改良された有機層が設けられる。
請求項（抜粋）：
有機発光デバイス(OLED)の一部を形成するに際し減圧下のチャンバ内で固体有機材料を気化させ、かつ、気化した有機材料を有機層として構造体表面に適用するための熱物理蒸着装置であって、a)該チャンバ内に該構造体から間隔を置いて配置された細長い蒸気ディストリビュータであって、該構造体の上に有機層を付着させるため該構造体と該ディストリビュータとの間のスペースに気化有機材料を送り込むための、該ディストリビュータの長さ方向に沿って形成された複数の蒸気流出開口部を有する細長いキャビティを画定する蒸気ディストリビュータと、b)該チャンバの外部に配置され、かつ、取り付けることにより、動作時に該蒸気ディストリビュータの該キャビティ内に気化有機材料を送り込むことができる、1又は2以上の取り外し可能な有機材料蒸気源と、c)該1又は2以上の有機材料蒸気源の各々の用に供し、かつ、該キャビティ内に封止的に延在する蒸気輸送装置であって、有機材料蒸気源を取り外し又は封止的に取り付けるための手段を含むものとを含んで成る熱物理蒸着装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, C23C 14/12
, H05B 33/14
H05B 33/10
, C23C 14/12
, H05B 33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BC07
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DA04
, 4K029DB12
, 4K029DB14
