特許

J-GLOBAL ID：200903013560570120

密封式超精密微動装置

発明者： 小野 昭一 ,  宗片 睦夫 ,  松野 晋
出願人/特許権者： 秩父小野田株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-221081
公開番号（公開出願番号）：特開平9-051686
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 大きな発生力を得られるとともに、圧電素子の破損を防止する。【解決手段】 目的の発生力に応じて複数個の圧電素子を並列に配置し、複数個の圧電素子の高さを均一にするための調整機構を金属容器内に保持したことを特徴とする密封式超精密微動装置。

請求項（抜粋）：

複数個の圧電素子を並列に配置し、該圧電素子の両端にそれぞれ支持板を設け、伸縮構造を持つ金属容器に密封したことを特徴とする密封式超精密微動装置。

IPC (8件)：

H02N 2/00 ,  B23Q 5/28 ,  G01B 21/00 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301 ,  H01L 41/09

FI (8件)：

H02N 2/00 B ,  B23Q 5/28 C ,  G01B 21/00 L ,  G05D 3/00 G ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/78 N ,  H01L 41/08 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-234380
  
• 超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-358404   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭63-132490