特許
J-GLOBAL ID：200903013562886974
アクチュエータ、ポンプ、及び、光スキャナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-266900
公開番号（公開出願番号）：特開2008-092613
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：
【課題】エレクトロウェッティング現象を応用することにより従来よりも消費電力低減及び小型化を容易に実現できるアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ11は、ポンプの底板12の絶縁性面に配置された複数の駆動電極20と、複数の駆動電極20を覆う絶縁層21と、底板12と所定間隔空けて対向し、一部において底板12に固定された駆動プレート22と、底板12と駆動プレート22との間にこれらの両方と接触した状態で配置された導電性を有する液滴23と、複数の駆動電極20に対して電位を付与するドライバIC24とを備えている。そして、ドライバIC24が駆動電極20の電位を変化させることにより、絶縁層21に対する液滴23の濡れ角を変化させて液滴23の高さを変動させ、この液滴23の高さの変動に応じて駆動プレート22を変形させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
絶縁性面を有する基材と、
前記絶縁性面に配置された第1電極と、
前記基材の絶縁性面と所定間隔空けて対向し、且つ、その一部分において前記基材に固定された駆動プレートと、
前記基材の絶縁性面と前記駆動プレートとの間において、これらの両方と接触した状態で配置された導電性を有する液滴と、
前記第1電極に対して電位を付与する電位付与手段を備え、
前記電位付与手段が前記第1電極の電位を変化させることにより、前記絶縁性面に対する前記液滴の濡れ角を変化させて前記液滴の高さを変動させ、この液滴高さの変動に応じて前記駆動プレートを変形させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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