特許
J-GLOBAL ID:200903013570576585

光学検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 則近 憲佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-181078
公開番号(公開出願番号):特開平8-043047
出願日: 1994年08月02日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】設置床面積とタクトタイムを増やすことなく、ワークの形状や外観を容易に検査することができる光学検査装置を得ること。【構成】搬送コンベア1の上方に設けたCCDカメラ3Aの下方に拡散照明用のハロゲンランプ13B,13Cを対称的に配置する。搬送コンベア1の下方には、透過照明用のハロゲンランプ13AをCCDカメラ3Aと同一軸心線上に設ける。拡散照明電源4と透過照明電源5を、CCDカメラ3Aのスキャニングのタイミングに合わせて交互にオン・オフする。CCDカメラ3Aから画像処理装置6に入力された画像情報は、拡散照明の反射光による画像と透過照明による画像毎に集積して、それぞれ画像処理を行う。
請求項(抜粋):
搬送コンベアの上方に設けられ前記搬送コンベアで搬送されるワークから入射する光を受光し複数回のスキャンニングで前記ワークの画像情報を出力するラインセンサカメラと、前記コンベアの上下に設けられ前記ラインセンサカメラのスキャニングに同期して前記ワークに光を交互に照射する拡散照明手段及び透過照明手段と、前記ラインセンサカメラから入力された前記ワークの画像情報を前記拡散照明手段と前記透過照明手段の照射光による画像情報毎に集積し処理する画像処理装置とよりなる光学検査装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  H01L 21/66

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