特許
J-GLOBAL ID：200903013579399180
軟X線多層膜反射鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100072
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297194
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 高反射率の軟X線多層膜反射鏡を得る。【構成】 基板1上にX線に対し互いに異なる屈折率を示す物質、例えば、シリコンとモリブデンとが交互に積層されてシリコン層2とモリブデン層3の多層膜構造とされ、この多層膜構造における高屈折率層(シリコン層3)と低屈折率層(モリブデン層2)との厚さはこれら各層の境界で反射される前記X線が互いに強め合う値に設定されて軟X線多層膜反射鏡10が形成され、上記各層の界面は水素化されて水素化層4が形成される。
請求項（抜粋）：
X線に対し互いに異なる屈折率を示す物質が互いに積層されている多層膜構造を有し、この多層膜構造における高屈折率層と低屈折率層との厚さはこれら各層の境界で反射される前記X線が互いに強め合う値に設定してある軟X線多層膜反射鏡において、上記各層の界面が水素化されていることを特徴とする軟X線多層膜反射鏡。
引用特許：
前のページに戻る
