特許
J-GLOBAL ID：200903013582231338

収差測定装置及び調整装置

発明者：
前田 孝則

前田 孝則 について

, 
江塚 敏晴

江塚 敏晴 について


出願人/特許権者：
パイオニア株式会社

パイオニア株式会社 について


代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-097423
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281100
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 干渉装置を利用して、レンズの収差を容易に且つ短時間で検出する収差検出装置を提供することである。【解決手段】 レーザ11と、光を2分するビームスプリッタ12と、レンズ1を支持して透過した光を集光点に集光させる光学系14と、レンズ1を透過した光を反射させる球面ミラー26と、球面ミラーで反射した光と参照光とを干渉させた干渉パターンを検出する撮像素子15と、干渉パターンを解析する手段17,31と、を有する。干渉パターンを複数の円が同心円状に配置されたものとするために、球面ミラーをなす球の中心Oは集光点から若干偏位した位置に配置される。
請求項（抜粋）：
透過した入射光束を一点に集光せしめるレンズの収差を検出する収差測定装置であって、単一波長の光を発するレーザと、前記レーザからの光を第1の光と第2の光とに分ける分割手段と、前記第1の光を前記レンズに導く光学系と、球体の一部をなす凹状の鏡面からなり、前記レンズを透過して集光点に集光した後の前記第1の光が入射して反射される反射手段と、前記反射手段にて反射された前記第1の光と前記第2の光とを干渉させた干渉パターンを検出する検出手段と、前記反射手段を前記光学系の光軸に対して移動させる移動手段と、前記レンズの収差を解析する解析手段と、を有し、前記移動手段は、前記干渉パターンをほぼ同心円状に配列された複数の円からなる干渉縞にするように前記球体の中心を前記集光点から偏位させ、前記解析手段は、前記複数の円の分布から前記レンズの収差を判別することを特徴とする収差測定装置。
IPC (2件)：
G01M 11/02 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01M 11/02 B ,  G01B 9/02
Fターム (10件)：
2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064CC04 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ00 ,  2F064JJ01 ,  2G086HH06
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • レンズ偏心測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-186279   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 干渉計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-267813   出願人：ソニー株式会社

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