特許
J-GLOBAL ID：200903013584202521
フ-リエ分光法を用いた厚み測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013091
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213919
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】リファレンス試料を不要にして試料測定のためにかかる手間と時間を低減しながら、しかもより正確な測定結果を得る。【解決手段】FT-IRで測定された試料の測定インターフェログラムからフーリエ変換でスペクトルに変換するとき、サイドバーストを含まない窓関数Aとサイドバーストを含む窓関数Bとが用意される。これらの窓関数A,Bと測定インターフェログラムとを掛けてインターフェログラムを計算し、このインターフェログラムをフーリエ変換することで、それぞれ2つのスペクトルを求める。これらの2つのチャネルスペクトルを割り算することでチャネルスペクトルを取り出す。最後に、取り出したチャネルスペクトルを用いてセプトラムを計算し、得られたセプトラムのピークから試料の厚みdを計算する。
請求項（抜粋）：
フーリエ分光装置を用いて試料を測定することにより試料の測定インターフェログラムを求めるとともに、この測定インターフェログラムに現れるサイドバーストを含まない窓関数とサイドバーストを含む窓関数とを用意し、これらの窓関数と前記測定インターフェログラムとを掛けることで得られるインターフェログラムをフーリエ変換することにより、それぞれ2つのスペクトルを求め、これらの2つのチャネルスペクトルを割り算することでチャネルスペクトルを取り出し、取り出したチャネルスペクトルを用いてセプトラムを計算し、得られたセプトラムのピークから試料の厚みを計算することを特徴とするフーリエ分光法を用いた厚み測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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