特許

J-GLOBAL ID：200903013611656190

露光装置及び露光方法

発明者： 勝目 智弘 ,  原 典彦 ,  柳原 政光
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251208
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、露光装置及び露光方法において、照明光学系に対する感光基板の走査速度の制御だけで露光量を適切値に調節できない程に光源の輝度が過大であつても、感光基板に適正な露光量を与え得るようにする。【解決手段】複数の光源(10)から射出されたそれぞれの1次光束(L6 〜L8 )を規制する光束規制手段(12)の規制状態と、1次光束(L6 〜L8 )を光伝送路(14)によつて集光及び分割して得た2次光束(L1 〜L5 )の照度とを対応付けて記憶手段(23)に記憶した記憶結果(S6)に基づいて、複数の光束規制手段(12)に最適な規制状態の組合せを設定する。

請求項（抜粋）：

複数の光源からそれぞれ射出された複数の1次光束を光伝送路によつて集光した後に前記光伝送路によつて分割して得た複数の2次光束によつて、パターンが形成されたマスク上の互いに異なる複数の領域をそれぞれ照明する照明光学系と、該複数の領域に対応して配置された複数の投影光学系とを有し、該複数の領域のそれぞれの像を前記複数の投影光学系のそれぞれを介して感光基板上に投影する露光装置において、前記複数の光源が射出したそれぞれの前記1次光束を規制する複数の光束規制手段と、前記2次光束の照度を検出する照度検出手段と、前記検出結果に基づいて、前記複数の光束規制手段によるそれぞれの規制状態と、前記複数の2次光束の照度とを対応付けて記憶する記憶手段と、前記記憶結果に基づいて、前記光束規制手段を制御する制御手段とを具え、前記2次光束の照度が所定値を越えるとき、該2次光束中の任意の光束成分を射出している前記光源が射出する前記1次光束を規制して、該2次光束の照度を前記所定値以下に規制することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 527