特許
J-GLOBAL ID:200903013633201781

ダイヤモンドスクライバー

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-327081
公開番号(公開出願番号):特開2005-088455
出願日: 2003年09月19日
公開日(公表日): 2005年04月07日
要約:
【課題】 厚さ100μm以上の基板やケミカルポリッシュされた表面などの高荷重でスクライブしなければならない基板に適したダイヤモンドスクライバーを提供すること。【解決手段】 このダイヤモンドスクライバー1は、先端面3bから稜線3dに向けて角度を付けて研磨されている。このため、厚さが100μm以上のサファイヤ基板やケミカルポリッシュ面を高荷重でスクライブしても、サファイヤ基板のスクライブラインにチッピングが発生しにくくなり、また、ダイヤモンドスクライバー1の刃先3aが耐摩耗性に優れる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ダイヤモンドスクライバーにおいて、 先端面から稜線に向けて角度を付けて研磨されていることを特徴とするダイヤモンドスクライバー。
IPC (2件):
B28D5/00 ,  H01L21/301
FI (2件):
B28D5/00 Z ,  H01L21/78 G
Fターム (2件):
3C069AA03 ,  3C069BB01
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開昭49-54988号公報

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