歩留り予測装置とその方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-306035
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162510
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】膨大な記憶領域を必要とせず、高速に歩留りの予測が可能な半導体チップの歩留り予測装置を提供する。【構成】粒子生成部12で複数個の半導体チップに付着するノイズ粒子を生成し、そのノイズ粒子が付着する半導体チップ識別番号を付与する。打ち込み部13でそのノイズ粒子全てを回路記憶部15に記憶されている1個のマスク上に打ち込む。その打ち込まれたノイズ粒子の近傍のマスクパタンをチェックし、そのノイズ粒子が欠陥を生じせしめるか否かを欠陥検出部16で調べる。半導体チップ欠陥検出部17で各ノイズ粒子の前記半導体チップ識別番号に基づいて、欠陥を生じた半導体チップを検出する。そして、欠陥を生じていない半導体チップの数と、全体の半導体チップ数より演算部18で半導体チップの歩留りを算出する。

請求項（抜粋）：

半導体チップの製造時の歩留りを予測する歩留り予測装置であって、予め算出したノイズ粒子の粒径分布に基づいて、所定の複数個の半導体チップに付着するノイズ粒子を生成し、該生成されたノイズ粒子各々に当該ノイズ粒子が付着する半導体チップの識別番号を付与するノイズ粒子生成手段と、前記生成されたノイズ粒子全てを1個のマスク上に配置するノイズ粒子配置手段と、前記配置されたノイズ粒子により、マスクのパタンが欠陥となるか否かを各ノイズ粒子ごとに検出する欠陥検出手段と、前記各ノイズ粒子ごとの欠陥検出結果と,該ノイズ粒子各々に付与された前記半導体チップ識別番号に基づいて、欠陥の生じる半導体チップの数を集計し、該集計結果より半導体チップの歩留りを算出する歩留り算出手段とを有する歩留り予測装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭48-040376
特開昭48-040376

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