特許
J-GLOBAL ID:200903013637052667
極低温冷凍装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
前田 弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-287943
公開番号(公開出願番号):特開2001-108320
出願日: 1999年10月08日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】不純物を除去する際、低温部の昇温を抑制すると同時に、液体ヘリウムの蒸発を抑制する。【解決手段】高圧ヘリウムガスをジュールトムソン膨張させて極低温を発生させるJT冷凍機(20)と、JT冷凍機(20)の高圧ヘリウムガスを予冷する予冷冷凍機(30)とを設けている。JT冷凍機(20)の圧縮機(21,22)から吐出したヘリウムガスを第1熱交換器(40)の高圧通路(41)に逆方向に供給し、高圧通路(41)の不純物を除去するための供給配管(70)を設けている。また、ヘリウムガスを加熱するヒータ(H1,H2,H3)を設けている。更に、第1熱交換器(40)を流れたヘリウムガスを圧縮機(21,22)に戻すための戻し配管(71)を設けている。戻し配管(71)には吸着器(72)を設けている。
請求項(抜粋):
高圧冷媒ガスをジュールトムソン膨張させて極低温を発生させる一方、上記高圧冷媒ガスと低圧冷媒ガスを熱交換させる複数の熱交換器(40,50,60)が設けられたJT冷凍機(20)と、該JT冷凍機(20)の高圧冷媒ガスを予冷する予冷冷凍機(30)とを備えた極低温冷凍装置において、上記JT冷凍機(20)の圧縮機(21,22)から吐出した冷媒ガスを少なくとも1つの熱交換器(40)の高圧通路(41)に供給し、該高圧通路(41)の不純物を除去するための供給通路(70)が設けられている極低温冷凍装置。
IPC (2件):
F25B 9/00
, F25B 9/00 395
FI (2件):
F25B 9/00 G
, F25B 9/00 395 Z
引用特許:
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